随着半导体行业的不断创新， ifm易福门（AHTE 2025展位号：E2-C01）为智能半导体制造提供了一系列的创新解决方案，旨在提升质量、提高产量，并实现可持续发展目标。

今天先聊一下ifm半导体制造中的Sub-fab（工厂辅助设施）流程如何从自动化中获益，尤其是工厂如何通过实时监控实现降本增效。

化学品输送系统（CDS）

化学品被广泛用于半导体生产的多个阶段，如沉积、光刻胶涂覆、光刻、蚀刻、清洗、薄膜沉积和抛光。为确保化学品的纯度，非接触式液位测量被广泛用于检测化学品液位。电容式测量技术只需进行简单的空罐调整并辅以实现理想设置的显示指南，就能克服管道或储罐壁上的气泡或附着物所带来的挑战。

KQ10系列连续性监控液位传感器：

• 安装在非金属储罐外壁，即可进行料位监测
• 配备清晰可见的LED，百分比显示轻松掌握液位变化
• 提供三个点料位监测位置，可靠区分空载，满载和溢流状态

KI60系列电容式接近开关：

• 可在介质内或介质外运行
• 可透过非金属储罐壁进行检测，抑制沉积物的影响
• 采用IO-Link技术，将点液位检测系统升级为实时液位状态监测

通过持续监测泵的健康状况

进行预测性维护，提高设备可用性

在半导体制造过程中，真空是半导体生产中各个工序广泛使用的支持系统。扩散、沉积和蚀刻等许多工艺都是在受控环境中进行，而干式真空泵对于创建和保持无菌环境至关重要。

01 基于振动监测的预测性维护

ifm 振动传感器可监测泵的健康状况，防止增压泵和干泵发生灾难性故障，导致长时间的可用性损失。振动系统可同时监测五个方面的机器问题：冲击、疲劳、摩擦、严重程度和温度。它们还能监测滚动轴承等特定机器部件，实时监控这些数据使传感器能够检测到即将发生的故障，减少计划外停机时间。ifm的VSA振动传感器和VSE振动分析模块，能为真空泵的故障诊断提供数据支持，在其效率低下时发出警示，实现能源优化。

02 通过持续监测流量确保适当的冷却效果

冷却水用于散发泵内压缩过程中产生的热量。冷却工艺对于保持泵的寿命和效率也不可小觑。传统的机械式流量计会随着时间的推移而损坏或卡住。ifm的SU 超声波流量计提供高精度测量，无任何机械部件或障碍物，从而能最大限度地减少压降。

03 通过连续测量温度保持泵的功能

泵的外壳温度升高表明摩擦增加，这也可能会导致泵故障。使用TP+TS分体式测温方案对泵体表面温度进行监测，对于保持泵的健康状态，避免代价高昂的停机时间至关重要。

通过IO-Link，可将传感器采集到的所有数据发送到本地部署的更高层级软件系统，以便进行趋势预测和分析，工厂可以使用该实时数据来实时监测设备健康状况。

超纯水系统

01 通过电导率测量确保水质

在半导体等众多行业中，超纯水系统的完整性非常关键，因为即使是微小的杂质也会导致重大的生产损失，导致数百小时的半导体晶圆生产无效。水的电导率是反映其纯度的重要标志。ifm的LDL电导率传感器就是一种高性价比解决方案，它能够实时监测水质，指导净化工艺的调整，确保供水系统的稳定和高效运行。它可检测水中低至0.04μS/cm的电导率，持续控制制水过程质量。

02 超纯水出水管 | 产出流量监测

通过准确监测对各种机器的超纯水供应，可以确保工艺的一致性和产品质量。SU Puresonic超声波流量传感器采用超声波技术，可精确测量高达1000L/min的超纯水或水的流量，集成温度测量功能，它提供高度准确的在线测量过程，可消除壁厚和管道材料变化的任何影响。

03 通过高准确度液位测量改善水的分配

保持精确的水位可以防止储存和分配期间发生污染。液位监测可以确保资源的可用性、防止干转并优化水的利用率，所有这些对制造过程中的资源节约至关重要。

机械式浮动开关会被卡住，导致错误的液位指示，造成超纯水处理系统过早关闭。ifm的LW非接触式雷达液位传感器没有任何运动部件，可安装在产品储罐的外侧，避免与金属部件接触并确保产品质量。80 GHz测量技术可以对所有高达10 米的储罐进行高精度测量（± 2 mm），减少体积计算的误差。

作为智能装配与自动化国际盛会，AHTE 2025将汇聚汽车零部件、汽车电子、新能源三电、医疗器械、3C电子、半导体、家电、机械制造、食品/饮料包装、机械制造、航天航空、轨交、玻璃、电梯、光伏、储能等应用行业智能装配与自动化解决方案，帮助制造业终端用户及机械设备制造商优化装配制造流程及解决生产制造难点，满足企业的柔性化、数字化、智能化、自动化需求，打破行业生产思维壁垒，提升先进制造竞争力！

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封面图及内容来源：ifm易福门电子

整理：AHTE 内容营销团队