动态力测量技术：克服半导体生产中的新挑战

2022年07月28日

随着半导体生产技术的进步，生产设备的复杂程度呈指数级增长。如今，半导体生产必须依赖高效的过程监控系统；然而，常规的测量方法已无法确保产品达到质量标准。因此，力测量逐渐成为半导体生产前段及后段制程中的关键因素。

奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）压电式测量技术具有高分辨率的特点，能够精确监控和控制半导体生产过程中产生的所有力，即使微小力也无所遁形。力，作为一项可能导致设备故障的物理变量，难以通过常规的测量方法获取；但奇石乐压电式力测量技术能够“化无形为有形”，实现力的精确监控和控制。

动态力测量技术使生产过程可视化，为半导体行业带来核心优势：

• 及早识别机械应力偏差

• 全循环控制，确保下压力精度

• 确保产品可追溯性，实现过程优化

• 提高机器性能

• 降低质量管理成本

奇石乐半导体生产白皮书

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集成测量技术---优化半导体生产质量

新兴技术和新型生产应用，对半导体产品的质量提出了更高的要求。半导体物理结构在趋于复杂的同时，其尺寸也不断缩小，且在设计方面愈发追求定制化的解决方案。对于半导体生产商而言，要满足这些要求，就必须在生产过程中对力这一关键变量进行全程监测和控制。

只有将测力技术集成于设备之中，才可能应对上述的挑战。奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）测量技术基于精确的测量数据，提供实时的持续质量监控，为为半导体制造商持续优化可持续生产过程保驾护航。

丰富经验造就精良技艺

凭借超过60年的压电测量技术经验，奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）可为机械制造商和制造公司提供精确的技术支持。奇石乐作为半导体行业的全球合作伙伴，其整套质量监控系统，是优化半导体生产的关键。

奇石乐解决方案---助力半导体生产应用

半导体生产加工步骤繁多。基于这一点，奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）针对生产商的不同应用方式和具体要求，提供不同深度的解决方案。

力测量和控制技术

通过测力系统测得的力数据用于晶片加工和焊接加工等半导体生产过程的调控。生产过程中力的必须持续、精确的施加在芯片商，才能够防止产品损坏。奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）测量技术集成于半导体生产线之中，协助优化生产过程、确保生产可追溯性。

持续监控

很多半导体生产应用需要保证监控和测试的持续性，但不需要保证控制的持续性。如生产过程中某一参数与设定值出现偏差，可暂停生产进行调试。集成式过程监控系统基于力测试数据运作，能够提供精确的测量数据，从而使用户及时侦测偏差原因，优化生产过程。

定期校准

这一测力系统配备校准功能，成本效益极高，可同时在大量的同种类机器中使用。如用户不需要对半导体生产应用进行持续测力，仅需定期检查机器轴力数值，该系统是不二之选。

作为汽车工程与工业装配自动化行业盛会，AMTS & AHTE将于10月12-14日在深圳国际会展中心（宝安新馆）举办深圳国际汽车制造装备与工业装配技术展览会 AMTS & AHTE South China 2022 ，依托大湾区电子、机械、医疗、自动化、3C等产业优势，通过全方位展示新能源汽车、三电、智能驾仓、车联网与智能驾驶、电子与通讯、半导体与集成电路、家电等领域工程与自动化解决方案，打造华南地区汽车工程行业及装配集成解决方案一站式展示平台。

欲了解更多奇石乐（AMTS & AHTE South China 2022 展位号：2C11）在汽车制造、半导体等行业领域的解决方案，10月深圳见！

图文来源：奇石乐

参展咨询：

电话：86-21-6468 1300

邮箱：ahte@rxglobal.com

展会预告：

· AMTS & AHTE South China 2022

2022年10月12-14日深圳国际会展中心（宝安新馆）

· AHTE 2023

2023年7月5-8日上海新国际博览中心